簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "GaN".ekeyword (精準) and year="94"


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    以二乙基一氯鎵為鎵源先驅物的氮化鎵原子層磊晶之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 林繼宏 指導教授: 洪儒生
    • 本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料,並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材,…
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